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iXL 高性能干式真空泵機組，從低到高抽速應有盡，滿足各種真空鍍膜，氣量需求。
iXL 系列干泵滿足 平板顯示器 (FPD)、半導體和太陽能制造市場 領域涉及的所有排氣要求。
這(zhe)些(xie)性能領先的 泵旨在最(zui)大限度(du)地(di)提高基板(ban)吞吐量，同時(shi)盡(jin)可能降(jiang)低功(gong)耗、 占(zhan)地(di)面積和重量。此外，大修間(jian)隔期內(nei)無須 維(wei)護。

適用于半導體和太陽能應用的小型 iXL 干泵
iXL120：緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應用。它可 快速抽空負載鎖定艙室，能耗極低。可 用于負載鎖定和清潔應用的最小且最輕的泵之一。 其低振動和低噪聲級的優點使其適合于安裝在機臺上或 工廠的夾心層中，從而有助于節省寶貴的工廠地面空間。環保 模式可在空閑期間降低設備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護環境。
一流的艙室抽空時間可減少 總體平均循環時間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功耗 有助于最大程度減少客戶擁有成本
環保模式可以在空閑 期間最多減少 92% 的功耗
最高 35oC 的水 供給有助于降低設備冷卻水要求
極(ji)小且極(ji)輕， 有助于節省寶貴的工廠空間

品雅真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)是愛德華真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵全國一級代理商，專業銷售和維修愛德華真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵系列，萊寶真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵，阿特拉斯真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵，安捷(jie)倫分子泵，島津分子泵，漢鐘螺桿真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵，普旭真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵等(deng)等(deng)，提供各種進口真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵配件耗(hao)材，真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵油(you)等(deng)。

iXH 系列干泵產品(pin)是 Edwards 的(de)市場(chang)領先(xian) iH 產品(pin)的(de)換代升級(ji)，為嚴苛制程(cheng)(cheng)能力(li) 樹立了新標(biao)準，它在(zai)世界上的(de)許多 300mm 半導(dao)體和平板(ban) 工廠內(nei)通(tong)過提高制程(cheng)(cheng)可靠性實現低擁有成(cheng)本(ben)。

可(ke)滿足 FPD、太(tai)陽能、 半導(dao)體和(he) LED 制造業中日(ri)益提高的(de)(de)氣體流量要(yao)求的(de)(de) 完美大容(rong)量干泵(beng)和(he)增(zeng)壓泵(beng)系列。 除了具有高峰值抽取速(su)度(du)外，這些泵(beng)還配備多種特性(xing) 以確保在嚴苛制程中具有最大可(ke)靠性(xing)。

iXH 泵(beng)采用(yong)模塊化設計，符(fu)合 當今的(de)(de)制程(cheng)要求(qiu)，并且對于前沿工廠中不斷涌現的(de)(de)應用(yong)挑(tiao)戰 有著路線明確(que)的(de)(de)應對計劃。

東莞市品(pin)雅真(zhen)空設備(bei)有限公司專用維(wei)修愛德華螺桿泵IXL120E系列產品(pin)，提供維(wei)修配件(jian)及(ji)真(zhen)空泵油。

IXL120E技術參數：

訂貨號：

iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭
A54113010
iXL120 E 200-460V 1/4 QC 冷卻水接頭
A54113020
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷卻水接頭
A54113610
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷卻水接頭
A54113710
iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54113011
iXL120 E 200-460V SPI 1/4 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54113221
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54113611
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54113711

iXL120N E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭
A54114010
iXL120N E 200-460V 1/4 QC 冷卻水接頭
A54114020
iXL120N E 200-460V SPI TIM 3/8 QC 冷卻水接頭
A54114210
iXL120N E 200-460V TEL 3/8 QC 冷卻水接頭
A54114410
iXL120N E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54114011
iXL120N E 200-460V TEL 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54114411

東莞市品雅(ya)真(zhen)空設(she)備有限公(gong)司專業銷(xiao)售愛德華螺(luo)桿泵IXL120E系列產品，可以為客戶(hu)提供(gong)上門安(an)裝(zhuang)服(fu)務，最快(kuai)的訂(ding)貨周(zhou)期滿足可以使用(yong)需求。

愛德華螺桿泵IXL120E/NE優勢及功能：

一流(liu)的艙室(shi)抽空時間可減少(shao)總體平均循(xun)環(huan)時間 (TACT)

僅(jin)僅(jin) 0.55kW 的功耗有助于最大程度減少客戶擁有成本

環保模(mo)式可以在空閑(xian)期間最多減少 92% 的功耗

最高 35?oC 的水供給有助(zhu)于降(jiang)低設(she)備冷卻(que)水要求

極小且極輕，有助(zhu)于節(jie)省寶貴的工廠空間(jian)

油潤滑(hua)的(de)(de)精密軸承(cheng)可確保(bao)順暢、低振動的(de)(de)運行，無需例行維護(hu)工作。

獨特(te)的雙入口布置(zhi)可(ke)實現高(gao)效的前(qian)級輸(shu)送(song)和(he)位置(zhi)選件

零氮吹掃選件無需氮氣供給，從(cong)而(er)節省安(an)裝(zhuang)和運行成本

XL1000：緊(jin)湊(cou)型低(di)能(neng)量的(de)(de)干(gan) 泵，適用(yong)(yong)(yong)于(yu)輕負載(zai)應用(yong)(yong)(yong)。它提供快速艙室抽空和 極低(di)的(de)(de)功(gong)耗。可用(yong)(yong)(yong)于(yu)輕負載(zai)應用(yong)(yong)(yong)（如晶圓加(jia)工、PVD 和 計(ji)量）的(de)(de)最(zui)小(xiao)且最(zui)安靜的(de)(de)泵之一。此產品 在高度成功(gong)的(de)(de) iXL120 泵的(de)(de)基礎上(shang)構建，具有高抽取速度和 低(di)能(neng)耗特性(xing)。通(tong)過(guo)環保模式可在空閑(xian)期間降低(di)設備 使用(yong)(yong)(yong)率，從而(er)降低(di)成本并幫助保護環境。

一流的艙室 抽空時間可減少總體平均循環時間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功 耗有助于最大程度減少客戶擁有成本
環保模式可以在 空閑期間最多減少 92% 的功耗
最高 35oC 的水供給有助于 降低設備冷卻水要求
極小且極 輕，有助于節省寶貴的工廠空間
適用(yong)于 Applied Materials 制程平臺的 IPUPIPUP2：緊湊型低能(neng)量的 180m3/h 干泵(beng)，用(yong)于晶(jing)圓(yuan)加工和(he)其他清潔工作應(ying)用(yong)。它(ta)能(neng)夠 以低能(neng)耗快(kuai)速抽空負載鎖(suo)定(ding)艙室。

IPUP2 小巧輕便，適用于負載鎖定 和清潔應用。其低振動和低噪聲級的優點使其適合于 在機臺上使用或安裝在工廠的夾心層中，從而有助于節省寶貴的 工廠地面空間，同時最大程序地提高泵送性能。環保模式可在 空閑期間降低設備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護環境。
適合在(zai) Applied Materials 的(de)制程平臺上(shang)使用， 可提高(gao)處理能力，同時減少能耗。

3 萬億次循環 MTBF
與原始 IPUP™ 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%
提供適用于現有 IPUP™ 的 插入式替(ti)換(huan)部件(jian)