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安捷倫Agilent TV81M專業維修保養

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安捷倫分子泵在高真空和超高真空應用中的幾點優勢
1. 陶瓷軸承,脂潤滑,無需維護,兩個軸承都在排氣口端,確保了清潔的真空環境。( 這對超高真空的應用來說非常重要) ,無磁軸承,軸承對轉子的固定作用強,可以承受一定的外界機械沖擊。( 這對移動式的真空機組尤為重要)
360度任意角度安裝,長壽命,平均無故障運行時間長達12000小時。
2. 轉子葉片一次加工完成,不僅自重輕,而且大大減小了葉片內的應力。因此機械強度高,轉子壽命長
3. 擁有專利技術的MacroTorr拖動級,使得瓦里安分子泵對氣體,特別是小分子氣體,有很高的壓縮比
分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)對不(bu)同的(de)(de)(de)氣(qi)體的(de)(de)(de)抽速(su)和(he)壓縮(suo)比(bi)是(shi)有顯(xian)著不(bu)同的(de)(de)(de)。壓縮(suo)比(bi)描述的(de)(de)(de)是(shi)分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)對特定氣(qi)體的(de)(de)(de)壓縮(suo)能力。在分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)的(de)(de)(de)排氣(qi)口(kou)壓力保持不(bu)變的(de)(de)(de)情況(kuang)下,對壓縮(suo)比(bi)比(bi)較大的(de)(de)(de)分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)來說,氣(qi)體分(fen)(fen)子(zi)由排氣(qi)口(kou)返流(liu)回進氣(qi)口(kou)的(de)(de)(de)量較小,反之,則(ze)返流(liu)較大。

美(mei)(mei)國安捷(jie)(jie)倫(lun)Agilent TV81M就是意大(da)利(li)瓦里安Varian Turbo-V 81-M分(fen)子(zi)泵,又稱為Varian TV81-M分(fen)子(zi)泵,其(qi)與(yu)瓦里安的(de)同(tong)門兄弟(di)Varian Turbo-V 81-T,都(dou)是varian TV81系(xi)列,轉速都(dou)是80000,DN63口徑時(shi),抽速都(dou)是77L/s,啟動時(shi)間都(dou)是60秒(miao),分(fen)子(zi)泵電源可以(yi)相互通用,他(ta)們(men)差別在哪里,很(hen)多人(ren)不(bu)清楚。其(qi)實意大(da)利(li)瓦里安Varian Turbo-V 81-M要比美(mei)(mei)國安捷(jie)(jie)倫(lun)Agilent TV81M好很(hen)多,其(qi)內部設計(ji)的(de)不(bu)同(tong),設計(ji)更為緊湊合(he)理(li),在壓(ya)縮氣體的(de)方(fang)面要優躍于安捷(jie)(jie)倫(lun)的(de)產品。

在分子泵剛剛開始工作的階段,由于有大量的氣體由進氣口被抽到排氣口,所以這種返流對實際抽速帶來的影響不是很大,而隨著進氣口壓力的下降,分子泵抽下來的氣體量在減少,這時,氣體返流對抽速的影響也就大起來了。這就是分子泵對小分子氣體,特別是氫氣的抽氣能力較差的原因。
對于高真空/超高真空系統,當系統內的壓力低于10-6毫巴以后,系統內氫氣占的比例越來越大,而此時氫氣的返流也越來越明顯,因此此時分子泵的有效抽速已經與產品說明書給出的參數相差很大了。分子泵對氫氣的壓縮比越大,分子泵對氫氣的實際有效抽速就越大;反之,則實際有效抽速已經所剩無幾。
簡單的(de)講,Varian Turbo-V 81-M比Varian Turbo-V 81-T高(gao)(gao)級一些(xie),從“身高(gao)(gao)”來看就高(gao)(gao)一些(xie),分子泵(beng)抽氣(qi)壓縮比要高(gao)(gao)出不少,根本原因是其轉子設計不同,Varian Turbo-V 81-M的(de)渦輪轉子多了幾層(ceng)導流環,詳情請見對(dui)比的(de)圖片

意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵對應的訂貨號如下:
Turbo-V 81-M pump with ISO 63 inlet flange Part No. 9698901:

在原子(zi)力顯微鏡(jing)中,瓦里(li)安也有獨特的(de)優勢,配合其緩(huan)沖器(qi),分子(zi)泵頂部震動可以小(xiao)于(yu)磁懸(xuan)浮分子(zi)泵,能(neng)提(ti)供更清晰更穩定的(de)圖像。

Varian 分子泵采用 Varian Macro Torr技術,Macro Toree是目前(qian)世界上蕞有效的渦輪級設(she)計技術。

渦輪轉子都(dou)用單獨一塊鋁(lv)合金(jin)整(zheng)體加工而(er)成(cheng), 重量(liang)蕞小化, 分子泵(beng)可以在360度范圍內(nei)以任(ren)意角(jiao)度工作而(er)無需任(ren)何調整(zheng)?

整體(ti)化(hua)設(she)計降低了作用(yong)在(zai)材料和軸承上(shang)的(de)壓力,可靠(kao)性極(ji)高。

免維護的陶瓷軸承, 無油(you),無污染(ran), 平均無故障時間大大增加

安捷倫分子泵和意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵備件對應的訂貨號如下Pump Accessories
Mains cable NEMA plug, 3 m long 0.5 (1.0) 9699958
Mains cable European plug, 3 m long 0.5 (1.0) 9699957
Serial cable and T-Plus Software 0.5 (1.0) 9699883
Inlet screen, KF 40 0.5 (1.0) 9699309
Inlet screen, CF 4 1?2” – ISO 63 0.5 (1.0) 9699300
Inlet screen, CF 2 3?4” 0.5 (1.0) 9699328
Heater band 220 V 1.0 (2.2) 9699801
Heater band 120 V 1.0 (2.2) 9699802
Metallic water cooling kit 0.5 (1.0) 9699823
Plastic water cooling kit 0.5 (1.0) 9699824
Air cooling kit (0.5 m cable) 2.2 (5.0) 9699290
Air cooling kit extension cable (5 m) 2.2 (5.0) 9699940
Pump extension cable 2.2 (5.0) 9699942
Vibration damper DN 63 0.5 (1.0) 9699375
Vibration damper CFF 4.5″ 0.5 (1.0) 9699376
Vent flange KF 10 0.5 (1.0) 9699108
Active Gauges Ask Varian for details
安捷倫分子和意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵建議使用的前極真空泵:Recommended Forepump
Mechanical pump DS 42 11.0 (24.0) 9499309
Mechanical pump DS 102 22.0 (48.0) 9499315
Dry scroll SH 110 19.0 (43.0) SH01101 UNIV

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