愛德華半導體干泵EPX180N/NE維修，四川愛德華半導體干泵EPX180N/NE維修，愛德華半導體干泵EPX180N/NE全國一級代理商，愛德華半導體干泵EPX180N/NE現場保養，愛德華半導體干泵EPX180N/NE系列產品配件號？歡迎來電咨詢：13826954831? 楊生
愛德華半導體干泵EPX180N/NE系列產品是寄L/LE系列的防腐等級更高，運用的行業工藝更加全面立體，全方位的發揮了EPX系列的優勢。
新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX180 使用了獨特的專利保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5?Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供卓越的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX NE 系列的泵具有一個最終用戶控制器 (EUC)。通過最終用戶控制器可以實現獨立使用的本地控制，并能夠連接到各種結構的網絡，以進行遠程控制和監視。
優勢技術：
EPX 泵系統在大氣壓和極限真空之間的壓力下工作，增壓室內無潤滑或密封液。這樣可以確保泵送系統清潔，不會因為系統的排空而使油或液體回流到系統中。
泵裝有一個 EMC 供應過濾器和一個變換器驅動，該驅動可提供和控制泵馬達的電源。前蓋上的 LED 標識 EPX 泵的狀態。馬達速度取決于泵入口處的壓力。當泵在入口壓力處于或接近大氣壓的情況下啟動時，馬達會加速到某個速度，該速度受可以由變換器驅動提供的電流限制。隨著入口處的壓力降低，馬達速度會加快，直至該速度最終達到其預定的最大速度。如果入口處的壓力增大，則馬達速度會再次減慢。
泵的定子和封閉馬達通過集成化水冷回路進行冷卻。因此，EPX 泵適合在不允許使用風扇的潔凈室環境下使用。冷卻水供應和回水管通過水接頭（由客戶指定）連接到泵。冷卻水的提供必須與環境條件（濕度和溫度）相當，以便不會達到結露點。
EPX L 系列的泵不能進行手動操作；這些泵必須通過外部控制設備進行控制和監視，而控制設備必須通過工具接口模塊 (TIM) 連接到 EPX 泵。
EPX 泵由四個振動隔離器進行支持。
泵保護傳感器可在出現故障狀態時自動關閉泵。
應用：
EPX 系列涵蓋廣泛的應用，從水處理到中度工作負載的制程。
EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定）且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。
EPX180N/NE系列應用：
負載鎖
傳輸腔
PVD 濺射
灰化/PR 剝離
電介質刻蝕
EPX 系列涵蓋廣泛的應用，從水處理到中度工作負載的制程。
性能參數：
| 峰值速度 | 170 m3h-1 |
| 105 ft3min-1 | |
| 2835 lmin-1 | |
| 極限真空 | |
| <1 x 10-4?mbar | |
| <7.5 x 10-5?Torr | |
| <1 x 10-2?Pa | |
| 預熱時間（達到標稱性能） | 30 分鐘 |
| 入口法蘭 | ISO63 |
| 出口法蘭 | NW25 |
| 噪音 | <59 dB(A) |
| 水接頭 | 3/8 in 快速 |
| 最小冷卻水流速 | 2 lmin-1 |
| 冷卻水溫度 | 15 – 35°C |
| 氮氣供給接口 | 1/4 in (6.5 mm) 管 |
| 氮氣供給壓力 | 3 x 105?– 7 x 105?Pa |
| 最低氮純度 | 99.95% |
| 電源供給 | 200/208 V，50/60 Hz 三相 |
| 極限功率 | 1.4 kW |
| 電機額定功率 | 3.0 kW |
| TIM | C3 |
| 重量 | 43.5 kg |
訂貨號：
EPX180N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
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EPX180N 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX180N 干式泵 400V，3/8 水接頭
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EPX180NE訂貨號：
EPX180NE 干泵 400V 無 TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 400V SPI TIM 1/4 水接頭
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EPX180NE 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 400V TEL TIM 1/4 水接頭
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EPX180NE 干泵 208V LAM TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 400V LAM TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX180NE 干泵 400V MCM TIM 1/4 水接頭
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EPX180NE 干式泵 208V 無 TIM 3/8 水接頭
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性能優勢：
緊湊的占地面積 – 作為可用的最小工具上泵之一，EPX 顯著節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
低運行成本 – EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可最大化功率效率。
獨特的專利保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在所有進氣口壓力下連續工作。
超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
非常可靠 – EPX 基于經過現場驗證的 IPX 技術，具有 13 年的 MTBFp?(SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，最大程度地延長了泵的使用壽命。
可兼容的網絡 – EPX 系列配有最終用戶控制，可以連接到各種結構的網絡，以進行診斷監視和控制。
愛德華真空泵種類繁多，型號豐富，對于不同的型號有這很多的分類，因此在購買愛德華真空泵時一定要注意選型，選擇最適合客戶需求的產品，歡迎有需要愛德華真空泵的客戶來電咨詢選型問題：13826954831? 楊生
