隨著(zhu)真(zhen)空泵的(de)(de)市(shi)場日益(yi)擴(kuo)大(da)，真(zhen)空泵應(ying)用范圍愈(yu)加廣泛，真(zhen)空泵排(pai)(pai)(pai)放(fang)問(wen)題也(ye)日益(yi)突出，每個地方對排(pai)(pai)(pai)放(fang)的(de)(de)要(yao)求是不一(yi)樣的(de)(de)，根據(ju)環保部門(men)的(de)(de)《工業“三(san)廢(fei)”排(pai)(pai)(pai)放(fang)試行標(biao)準(zhun)》規定(ding)了工業廢(fei)水、廢(fei)氣(qi)、廢(fei)渣的(de)(de)排(pai)(pai)(pai)放(fang)濃度(du)和排(pai)(pai)(pai)放(fang)容量標(biao)準(zhun)，其中廢(fei)氣(qi)排(pai)(pai)(pai)放(fang)標(biao)準(zhun)對5種工業部門(men)定(ding)出13類有害(hai)物(wu)(wu)(wu)質的(de)(de)容許(xu)濃度(du)和排(pai)(pai)(pai)放(fang)量。這些有害(hai)物(wu)(wu)(wu)質是：二氧(yang)化(hua)硫、二硫化(hua)碳、硫化(hua)氫、氟化(hua)物(wu)(wu)(wu)、氮氧(yang)化(hua)物(wu)(wu)(wu)、氯(lv)、氯(lv)化(hua)氫、一(yi)氧(yang)化(hua)碳、硫酸霧、鉛、汞、鈹(pi)化(hua)物(wu)(wu)(wu)、煙(yan)灰和生產性粉塵。大(da)量吸入會危害(hai)人體健康。
在化(hua)工(gong)生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)過程中用(yong)來(lai)抽真(zhen)(zhen)空(kong)的(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)會(hui)產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)部(bu)分(fen)的(de)(de)(de)(de)有(you)機(ji)(ji)廢氣，不(bu)過真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)本身不(bu)會(hui)產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)有(you)機(ji)(ji)廢氣，產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)(de)廢氣主要是(shi)工(gong)作時用(yong)的(de)(de)(de)(de)原材料(liao)所產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)(de)，對于真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)所產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)(de)尾氣的(de)(de)(de)(de)處理一般(ban)可以有(you)冷凝法、吸附法、吸收法、等(deng)離(li)子體法等(deng)，如果是(shi)單一的(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)可以采(cai)用(yong)冷凝+緩沖+液封(feng)工(gong)藝(yi)，如果是(shi)多臺真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)(de)(de)(de)話則需(xu)要做成統一收集，然(ran)后通過洗(xi)滌凈化(hua)，
真空泵所產(chan)生的廢氣成(cheng)分不單(dan)一，采用的三種方式的工藝流程，可(ke)以使有(you)機廢氣在(zai)收(shou)集后通(tong)過設(she)備凈化，然后再經過15米煙(yan)囪(cong)高空排放到大氣中(zhong)。
1、離子(zi)(zi)(zi)凈化(hua)法：采用高壓發生器形(xing)(xing)成低溫等(deng)(deng)離子(zi)(zi)(zi)體(ti)，在(zai)平均能量(liang)約5eV的(de)(de)大量(liang)電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)作(zuo)用下，使通(tong)過凈化(hua)器的(de)(de)苯、甲苯、二(er)甲苯等(deng)(deng)有(you)機廢(fei)氣分(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)轉(zhuan)化(hua)成各種活性粒子(zi)(zi)(zi)，與空氣中的(de)(de)O2結合生成H2O、CO2等(deng)(deng)低分(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)無害物(wu)質，使廢(fei)氣得(de)到(dao)(dao)凈化(hua)。在(zai)處理過程中，當有(you)機氣體(ti)進入冷離子(zi)(zi)(zi)體(ti)反應室(shi)時，氣體(ti)被(bei)均勻分(fen)(fen)配到(dao)(dao)等(deng)(deng)離子(zi)(zi)(zi)反應室(shi)（PRC）。反應室(shi)分(fen)(fen)成149根(gen)(gen)六邊形(xing)(xing)管子(zi)(zi)(zi)，每(mei)根(gen)(gen)管子(zi)(zi)(zi)的(de)(de)中央有(you)一根(gen)(gen)冠狀電(dian)(dian)(dian)線，與反應室(shi)獨立隔開。通(tong)過高壓線對反應室(shi)導通(tong)可調(diao)節高壓，高壓導通(tong)到(dao)(dao)管子(zi)(zi)(zi)里的(de)(de)管狀電(dian)(dian)(dian)線上。由電(dian)(dian)(dian)線至(zhi)管壁產生放電(dian)(dian)(dian)現象。一旦放電(dian)(dian)(dian)，等(deng)(deng)離子(zi)(zi)(zi)體(ti)電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)就與氣體(ti)分(fen)(fen)子(zi)(zi)(zi)相撞擊，產生化(hua)學性活性核(he)素，就是(shi)通(tong)常所說的(de)(de)激(ji)進和(he)負荷載體(ti)。此外(wai)，還具有(you)微(wei)型靜電(dian)(dian)(dian)沉(chen)淀器的(de)(de)功(gong)能，該裝置可以除(chu)塵。
2、炭(tan)(tan)(tan)吸(xi)(xi)附法：主要由(you)活(huo)性(xing)(xing)炭(tan)(tan)(tan)層和(he)(he)承(cheng)托層組成。活(huo)性(xing)(xing)炭(tan)(tan)(tan)具有發(fa)達的(de)(de)空隙，比表面(mian)積大(da)，具有很高(gao)的(de)(de)吸(xi)(xi)附能(neng)(neng)力(li)。正是由(you)于活(huo)性(xing)(xing)炭(tan)(tan)(tan)的(de)(de)這(zhe)種特性(xing)(xing)，它在水的(de)(de)深度(du)處理中被廣泛(fan)應用，如生(sheng)活(huo)給水，污水后段的(de)(de)（凈水）深度(du)處理等。 活(huo)性(xing)(xing)炭(tan)(tan)(tan)使用一(yi)段時(shi)間(jian)后，吸(xi)(xi)附了大(da)量的(de)(de)吸(xi)(xi)附質，逐(zhu)步趨(qu)向(xiang)飽和(he)(he)，喪失了工作能(neng)(neng)力(li)，嚴重時(shi)將穿(chuan)透(tou)濾層，因此應進行活(huo)性(xing)(xing)炭(tan)(tan)(tan)的(de)(de)再生(sheng)或(huo)更(geng)換。
3、為(wei)真空泵(beng)安裝排氣過濾(lv)器，質量好的過濾(lv)器過濾(lv)后是看不到油煙的，而且過濾(lv)后的氣體(ti)可(ke)以直排，
以上介紹(shao)了三種(zhong)處理真空(kong)(kong)泵廢氣的(de)方法，其(qi)實方式(shi)方法還(huan)(huan)有很多(duo)(duo)，主要(yao)是(shi)真空(kong)(kong)泵廢氣的(de)管道收集(ji)問題(ti)，需要(yao)設計好主管道的(de)管徑，支管道的(de)管徑等，然(ran)后采用(yong)(yong)側吸風(feng)還(huan)(huan)是(shi)上吸風(feng)進行收集(ji)問題(ti)，選(xuan)擇(ze)使用(yong)(yong)多(duo)(duo)大風(feng)量和多(duo)(duo)大風(feng)壓的(de)風(feng)機，這(zhe)些都是(shi)決定凈化效果的(de)
