質譜分析儀一般選用的(de)真空泵(beng)是愛德華 E2M0.7、E2M1.5 這(zhe)2款型(xing)號，真空泵(beng)使用到一定的(de)時間(jian)要(yao)做保(bao)養與維修。

質譜(pu)真空泵必須由(you)接(jie)受(shou)過適當培訓(xun)的(de)技(ji)術(shu)員來維護，確(que)認該技(ji)術(shu)員對泵油及系統的(de)產物(wu)十分熟悉，做維護之(zhi)前必須將(jiang)泵停下(xia)，降到安全的(de)溫度，斷開(kai)泵及其他元(yuan)件(jian)與電路(lu)的(de)連接(jie)，以避(bi)免(mian)發(fa)生意外(wai)。維護完畢(bi)，在沒接(jie)上電源之(zhi)前，重新檢查一下(xia)泵的(de)旋轉方向(xiang)。O型圈和(he)墊(dian)圈如果損壞不可重復利用。

在運轉過程中(zhong)，質譜真(zhen)空泵(beng)和油會受到化(hua)學(xue)品的污染。所以(yi)，應確認泵(beng)是(shi)否清(qing)洗干凈，并采取(qu)足夠的措施防止這些有害(hai)(hai)物質對人員的傷害(hai)(hai)，維護完畢后，應檢查是(shi)否有泄露的地方，如有，應重新密封。不要接觸(chu)或吸(xi)入泵(beng)受高溫(260℃)產(chan)(chan)生的熱降解的產(chan)(chan)物，它們(men)是(shi)很危險的，包括油、油脂(zhi)和真(zhen)空脂(zhi)。

一(yi)、檢查前置(zhi)真(zhen)空泵油(you)位：

根據需(xu)要，可以在泵運轉的時候檢(jian)查油(you)位，但如果要往里(li)加油(you)時則需(xu)斷開(kai)前置真空泵及相(xiang)關部件與

二、電源的連接。

1、透過前(qian)置(zhi)真(zhen)空泵(beng)的可視窗口檢查(cha)油位是否在(zai)z*低限(xian)以上，z*高限(xian)以下。

2、如果油(you)位在(zai)z*低限(xian)或低于(yu)z*低限(xian)，打開加油(you)孔，加油(you)至z*高限(xian)，如加得過滿(man)可從出口放(fang)掉點(dian)。

3、如果(guo)油污(wu)染(ran)嚴重時(shi)，放掉受污(wu)染(ran)的油，清洗(xi)泵后加入干凈(jing)的油。

三、更換前置真空泵油：

1、開啟泵(beng)運轉10分(fen)鐘以加熱(re)泵(beng)油，然后關(guan)泵(beng)(油加熱(re)后可(ke)降低其粘性，比(bi)較容易倒(dao)出來)。

2、斷開泵和電路及真空系統的連接。

3、取下加油孔的塞子。

4、將泵放在(zai)一個適當的(de)支撐物(如：凳子)上以方便泵的(de)傾斜，在(zai)排(pai)油口下(xia)放合適的(de)容器。取下(xia)排(pai)油口的(de)塞子，讓油在(zai)重力的(de)作用下(xia)流到(dao)容器中。

5、油受到污染時：

（1）取(qu)下加油孔的塞子，倒進干凈的油。

（2）重新連上泵和電(dian)路的(de)連接(jie)，開泵運轉(zhuan)5-10分(fen)鐘。

（3）斷(duan)開泵和電路的(de)連接(jie)，取下排油(you)口的(de)塞子，讓油(you)流出來。

（4）重復上述(shu)步驟直到將泵清洗干凈。

6、塞上排油口的塞子，移(yi)掉支撐物，重(zhong)新接上泵和電路及真空系統的連(lian)接 。

7、裝上新油(you)，直到(dao)油(you)位達到(dao)MAX位置附(fu)近(jin)。

8、等幾(ji)分鐘(zhong)直到油抽到泵中，需要的話，可(ke)再(zai)添油(需再(zai)關泵)。塞上(shang)加油孔(kong)的塞子。

四(si)、檢查和清潔(jie)前置真(zhen)空泵(beng)入口過(guo)濾器

1、旋開入(ru)口轉接器，取下‘O’ ring，彈性(xing)擋圈和(he)入(ru)口過濾器。

2、用適當的溶液清洗入口過(guo)濾(lv)器(qi)，陰干入口過(guo)濾(lv)器(qi)。

3、重新裝(zhuang)上(shang)入口(kou)過濾器(qi)、彈(dan)性擋圈(quan)、‘O’ring和入口(kou)轉接(jie)器(qi)。

五、清(qing)潔(jie)前置真空泵載(zai)氣濾網：

1、取下固定墊圈。

2、取下(xia)金屬(shu)絲網及濾頭(tou)元件。

3、用合適(shi)的溶(rong)劑清洗金屬絲(si)網及濾頭元件，陰干后重新(xin)裝在泵上。

4、重新(xin)固定好固定墊圈。

六(liu)、清洗馬達風扇周圍：

1、關掉真空泵(beng)，斷開其與電源的連接。

2、利用干的(de)(de)(de)布或毛刷清除電動(dong)機的(de)(de)(de)風扇罩和圍欄(lan)的(de)(de)(de)污染物。

！注(zhu)意:如果(guo)電動(dong)機的風扇罩及(ji)周圍不(bu)保持干凈的話，進入馬達的氣流將受到限制從而導致泵過(guo)熱(re)。